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光學加工

自由曲面反射鏡

我們開發出一種結合慢刀路徑的光學探針測試與補償加工方法,實現不依賴B軸、大動態范圍、亞微米精度的在線測試與補償加工,極大的提高了自由曲面加工和檢測精度,100mm口徑自由曲面的面形精度優于PV 0.5μm。

  

 

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